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项目 Item |
内容 Content |
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| 标准代码 Standard Code |
GB/T 14142-1993 |
| 标准类别 Standard Class |
GB |
| 标准中文名称 Standard English Title |
硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法 |
| 标准英文名称 Standard Chinese Title |
Test method for crystallographic perfection of epit-axial layers in silicon by etching techniques |
| 订购 Order |
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