项目 Item |
内容 Content |
---|---|
标准代码 Standard Code |
GB/T 39145-2020 |
标准类别 Standard Class |
GB |
标准中文名称 Standard English Title |
硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
标准英文名称 Standard Chinese Title |
Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry |
订购 Order |
![]() |