项目 Item |
内容 Content |
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标准代码 Standard Code |
GB/T 36646-2018 |
标准类别 Standard Class |
GB |
标准中文名称 Standard English Title |
制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备 |
标准英文名称 Standard Chinese Title |
Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy |
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